Gerðarvalsskilyrði fyrir rafeindahitavökva eru eftirfarandi átta lykilatriði:

Módelvalsviðmið fyrir rafeindahitavaska eru eftirfarandi átta lykilatriði:

1. Það ætti ekki að vera rýrnun, ryð, sprungur og aðrar gallar á yfirborði rafeindaofnsins; 

2. Málmfestingapinnar, skrúftappar, fiðrildafjaðrar og leiðandi blöð úr vatnskældu hitavaskinum á töflulaga ofninum þarf að húða til viðhalds;

3. Hámarksstýringargildi yfirborðsgrófleika Ra á hitaupptökuborðinu er 3,1m;

4. Flatleiki hitastigsborðsins er ekki minna en 9 einkunnir;

5. Ofninn sem notaður er fyrir orkuverkfræði hálfleiðara íhluti á köldu og blautu svæði inniheldur hitakökur, festingar og einangrunarlög. Yfirborðið ætti að vera varið með öryggisvörn, og vinnslugeta þess, viðnám gegn raka og kulda, tæringarþol og Aspergillus flavus ætti að vera í samræmi við hlutfallslega subtropical orkuverkfræði hálfleiðara hluti forskriftir;

6. Festingar og einangrunarlagshlutar sem sérstaklega eru notaðir fyrir ofna ættu að vera í samræmi við viðeigandi forskriftir;

7. Herðatogið eða herðavinnuþrýstingurinn fyrir uppsetningu á ofn- og orkuverkfræði hálfleiðaraefnum ætti að uppfylla viðeigandi kröfur framkvæmdarstaðla íhluta vara;

8. Þvermál hringringsins í uppsetningarstjórnunarmiðstöð töflulaga ofnborðsins er 2,5 mm í þvermál, sem er 1 mm hærra en borðplatan.